OECO 太陽電池是德國ISFH研究所從九十年代就開始研制的一種新型單晶硅電池。與其他高效電池相比，具有結(jié)構(gòu)設(shè)計新穎、制作簡單、電極原料無損耗、成本低廉和適合大批量生產(chǎn)等優(yōu)點。OECO電池結(jié)構(gòu)基于金屬-絕緣體-半導(dǎo)體(MIS)接觸，利用表面溝槽形貌的遮掩在極薄的氧化隧道層上傾斜蒸鍍低成本的Al作為電極，無需光刻、電極燒穿、電極下重摻雜和高溫工藝即可形成高質(zhì)量的接觸，并且一次性可蒸鍍大批量的電池電極。更為重要的是當(dāng)這種電池制作面積從4 cm2擴大到100 cm2時，效率也只是從21.1%略微降到20%，仍然屬于高效范圍，所以這種結(jié)構(gòu)的電池更適宜于工藝生產(chǎn)。

OECO結(jié)構(gòu)電池的表面由許多排列整齊的方形溝槽組成，淺發(fā)射極n+位于硅片的上表面，在其上有一極薄的氧化隧道層，Al電極傾斜蒸鍍于溝槽的側(cè)面，然后利用PECVD蒸鍍氮化硅作為鈍化層和減反射膜。

OECO電池有以下特點：

(1)電極是蒸鍍在溝槽的側(cè)面，有利于提高短路電流;

(2)優(yōu)異的MIS結(jié)構(gòu)設(shè)計，可以獲得很高的開路電壓和填充因子;

(3)高質(zhì)量的蒸鍍電極接觸;

(4)不受接觸特性限制的可以被最優(yōu)化的淺發(fā)射極;

(5)高質(zhì)量的低溫表面鈍化。

電池的制作具體過程為：

前表面機械開槽→化學(xué)腐蝕清洗→背面掩膜(擴散)→前表面化學(xué)制絨→使用液態(tài)源POCl3進行磷擴散制作n+發(fā)射極→打開背面接觸→真空蒸鍍Al作為背電極→前表面低溫?zé)嵫趸纬裳趸淼缹?rarr;前表面無需掩膜直接傾斜蒸鍍Al作為面電極→使用導(dǎo)電膠將各個面電極連接起來→采用PECVD法在前表面蒸鍍氮化硅作為鈍化和減反射層。